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詳細介紹

1. 設備共有3區(qū),分別是:預熱、加熱、冷卻(具備獨立的工藝腔體);每個腔體都具備觀察窗,工藝腔體壓力在0.2~1050mbar。
2. 設備支持氮氣、甲酸(氮氣+甲酸)氣氛環(huán)境,并能精準控制;支持焊片工藝。
3. 可編程多段抽真空功能:每個腔體具有獨立的真泵及控制系統(tǒng),真空度≤1mbar,抽速100m^3/h,加裝軟抽閥,速率可調(diào)。腔體真空數(shù)值實時顯示并可控制和調(diào)節(jié)。
4. 采用加熱板接觸式加熱,冷卻板接觸式散熱,加熱板和冷卻板面積685*350mm,加熱板隔層承重≥20公斤;升溫速率1-3℃/S,降溫速率3-6℃/S,均可編程控制。
5. 工作溫度室溫~400℃,控溫精度≤±0.5℃,溫度均勻性≤±1%。
6.焊接后單個空洞率低于2%,總空洞率不超過3%(10*10mm以上),工藝曲線可根據(jù)具體要求進行調(diào)節(jié);無夾具定位芯片焊接后位移滿足工藝需求(位移≤0.2mm角度≤1度)。
7.工藝控制:1)焊接中各階段的溫度梯度和時間,可按需要自由編程并保存; 2)能實現(xiàn)所有工藝曲線的自動生成,能對工藝程序進行編輯;3)具有數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC),可精確控制工藝氣體流量。
8.自主研發(fā)控制程序,可實時監(jiān)控和數(shù)據(jù)記錄,實時顯示和記錄溫度、流量及真空數(shù)據(jù);具備程序權(quán)限管理(管理員、工藝員和操作員),防止程序參數(shù)被誤改。
9.設備具備腔體泄漏報警(檢測到真空失效,氣體泄漏時報警)、氣路供壓報警(氣路壓力過低時報警)、腔體過壓報警(腔體壓力過高時報警)、甲酸液位報警(甲酸液位過低時報警)、超溫報警(溫度超過設定的溫度的報警);具備獨立的氣體保護系統(tǒng),所以的電氣門均備鎖定 裝置。
10.加熱板平均壽命(平面度)在5年以上,溫控系統(tǒng)具有智能溫度校正功能,可對溫度進行溫差補償;具有MES功能,可開放相應的接口和功能,獲取客戶所需信息,SEMI通信標準SECS/GEM。
11. 前后具有軌道接口,可通過軌道與貼片機進行對接。
12. 設備模塊化設計,加熱管和加熱板分離設計,長期使用如果溫度均勻度有變化,可以不用更換整套加熱板,直接更換部分加熱管即可。方便調(diào)整每一個加熱板的溫度均勻度,易于維護和溫度性能校準。

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